Navegando por Assunto Magnetrons
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Data do documento | Título | Autor(es) | Tipo |
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6-Fev-2023 | Influência da temperatura do substrato na estrutura de filmes finos de ZrxSi1-XN depositados por magnetron sputtering reativo | Oliveira, Fábio Santos de | Dissertação |
Out-2018 | Influência do teor de Hf em filmes finos de Zr e ZrN depositados por magnetron sputtering | Santos, Ikaro Arthur Dantas | Dissertação |