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https://ri.ufs.br/jspui/handle/riufs/17932| Document Type: | Dissertação |
| Title: | Estudo sobre a formação da solução sólida em filmes finos de zrn+si depositados via magnetron sputtering reativo |
| Other Titles: | Study on the formation of the solid solution in zrn+si thin films deposited via reactive magnetron sputtering |
| Authors: | Santos, Júlio César Valeriano dos |
| Issue Date: | 14-Feb-2023 |
| Advisor: | Tentardini, Eduardo Kirinus |
| Resumo : | Filmes finos de ZrN com adição de 1,6% de Si foram depositados via magnetron sputtering reativo e caracterizados por RBS, SEM-FEG, GAXRD, XPS e testes de oxidação em alta temperatura, visando investigar como estruturalmente o silício é inserido na matriz de ZrN. As análises GAXRD mostram uma redução no parâmetro de rede e no tamanho de grão devido à incorporação de Si e as análises XPS demonstram que o Si está presente na forma de nitreto. Tais observações sugerem a não formação de solução sólida substitucional ou intersticial com ZrN, mas a presença de Si3N4, mesmo em baixas concentrações de Si. |
| Abstract: | ZrN thin films with 1.6% Si addition were deposited via reactive magnetron sputtering and characterized by RBS, SEM-FEG, GAXRD, XPS and high temperature oxidation tests, aiming to investigate how structurally silicon is inserted in ZrN matrix. GAXRD analyses show a reduction in lattice parameter and grain size due to Si incorporation and XPS analyses demonstrate Si is present in nitride form. Such observations suggest the non-formation of substitutional or interstitial solid solution with ZrN, but the presence of Si3N4, even in low Si concentrations. |
| Keywords: | Filmes finos Magnetron sputtering Solução sólida ZrN Si3N4 Magnetron sputtering reativo Thin films Solid solution Reactive magnetron sputtering |
| Subject CNPQ: | ENGENHARIAS::ENGENHARIA DE MATERIAIS E METALURGICA |
| Sponsorship: | Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior - CAPES |
| Language: | por |
| Institution: | Universidade Federal de Sergipe (UFS) |
| Program Affiliation: | Pós-Graduação em Ciência e Engenharia de Materiais |
| Citation: | SANTOS, Júlio César Valeriano dos. Estudo sobre a formação da solução sólida em filmes finos de zrn+si depositados via magnetron sputtering reativo. 2023. 47 f. Dissertação (Mestrado em Ciência e Engenharia de Materiais) – Universidade Federal de Sergipe, São Cristóvão, 2023. |
| URI: | https://ri.ufs.br/jspui/handle/riufs/17932 |
| Appears in Collections: | Mestrado em Ciência e Engenharia de Materiais |
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