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Navegando por Assunto Magnetron sputtering

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Data do documentoTítuloAutor(es)Tipo
29-Jul-2020Deposição de filmes finos tipo multicamadas Cr/TiN com diferentes arquiteturas e estudo de estrutura, propriedades tribológicas, resistência à oxidação e à corrosãoSoares, Vagner Fontes GonçalvesTese
3-Mar-2017Deposição e caracterização de filmes finos TaA1N por magnetron sputtering reativoOliveira, Givanilson Brito deDissertação
7-Nov-2018Estudo de comutação resistiva em filmes finos de Al2O3 e ZnO para aplicação em dispositivos de “memória resistiva de acesso aleatório” (RRAM) e interruptor eletrônico (IE)Rodrigues, Aline do NascimentoTese
14-Fev-2023Estudo sobre a formação da solução sólida em filmes finos de zrn+si depositados via magnetron sputtering reativoSantos, Júlio César Valeriano dosDissertação
14-Jun-2021Influência da temperatura de deposição nas propriedades mecânicas e tribológicas e na resistência à oxidação de filmes finos de Zr1-xSixN depositados por magnetron sputtering reativoTerto, André RomãoTese
19-Mar-2016Influência do teor de silício em filmes finos de nitreto de zircônio depositados por magnetron sputtering reativoFreitas, Flávio Gustavo RibeiroTese
19-Fev-2024Investigação estrutural de filmes finos de Ti1-xAlxN depositados por magnetron sputtering reativoDias, Iago LemosDissertação
2015Structural and mechanical properties of Zr-Si-N thin films prepared by reactive magnetron sputteringFreitas, Flávio Gustavo Ribeiro; Hübler, Roberto; Soares, Gabriel; Conceição, Amanda Gardênia Santos; Vitória, Edson Reis; Carvalho, Renata Gomes; Tentardini, Eduardo KirinusArtigo
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